エンジニアリングツール

真空適合性チェッカー

モーター、ベアリング、ケーブル、エンコーダー、材料の真空・クリーンルーム環境への適合性を評価します。ASTM E595アウトガスデータ、NASA材料データベース、メーカー公開仕様を用いて、チャンバー内のコンタミネーションリスクを事前に特定します。

環境要件

Turbo/diffusion pumped systems

Effective speed at chamber, not pump rated speed.


モーター構成

Standard HR motor. Suitable for HV with careful cleaning. Not recommended for UHV without modification.

PFPE vacuum grease (e.g., Fomblin, Krytox). Low outgassing but still generates some vapor.

Excellent vacuum compatibility. Low outgassing, high temperature tolerance. Standard choice for UHV systems.

Exposed linear encoder, standard version. Adhesive mounting may limit vacuum depth.