エンジニアリングツール
モーター、ベアリング、ケーブル、エンコーダー、材料の真空・クリーンルーム環境への適合性を評価します。ASTM E595アウトガスデータ、NASA材料データベース、メーカー公開仕様を用いて、チャンバー内のコンタミネーションリスクを事前に特定します。
vacHvDesc
チャンバーでの実効排気速度。ポンプ定格速度ではありません。
motorNanomotionHrNote
bearingXrollerVacgreaseNote
cablePtfeNote
encoderHeidenhainLip382Note